项目信息

项目名称：单室高真空电阻式镀膜设备

项目编号：XF-WSBX-******

公告开始日期：2025-08-06 14:51:57

公告截止日期：2025-08-13 16:00:00

******大学

付款方式：货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

联系人：中标后在我参与的项目中查看

联系电话：中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求：成交后3个工作日内

到货时间要求：成交后7个工作日内

预算：￥405000.00

******大学海宁国际校区1A楼二楼210

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明：

采购清单

采购商品：单室高真空电阻式镀膜设备

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：物理光学仪器

预算：￥405000.00

技术参数及配置要求：镀膜设备由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架和电控系统组成，真空室前门可与手套箱对接，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。
1、真空室腔体：1套
1)\t外形：优质304不锈钢方型前后开门真空室腔体1套，尺寸: 长500宽400高550mm，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，前后门各配DN100视窗1套，内衬版1套；
2)\t底部：金属源接口1套，有机源接口9套，美国MCVAC水冷膜厚探头接口4套, CF25照明接口2套；
3)\t顶部：样品台接口1套，气动挡板接口1套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套；
4)\t侧壁：JCDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀接口1套，JTFB-1300风冷分子泵接口1套预留法兰若干；
5)\t腔体漏率：整体漏率优于5×10^-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。
2、蒸发源系统：1套
1)\t金属源1套：水冷铜电极1组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，直流电源1台，可切换，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过SQC310C膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率；
2)\t有机源9套：采用铠装加热丝，安全洁净，最高加热温度：700℃，配4CC石英玻璃舟，采用气缸挡板，翻盖开关，采用直流电源5台，通过日本导电温控表进行PID精确温度控制，（也可通过触摸屏控制温度）温控精度±1℃，温控表显示精度0.1℃；
3)\t隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。
3、样品台系统：1套
1)\t基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；
2)\t基片升降：衬底与蒸发源间距240-340mm，电动升降，通过触摸屏控制连续可调；
3)\t基片挂架：130mm*130mm抽屉式托架，基片台制冷加热循环，温度：-50℃～+250℃。；
4)\t基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，速度平稳。
5)\t额外样品托3套。
4、真空泵机组：1套
1)\tVRD-30双级泵1台；
2)\tDDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；
3)\tKF40泵阀连接软管1套；
4)\tGDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；
5)\tJTFB-1300风冷分子泵1台；
6)\tCCQ-200CF气动超高真空插板阀1台；
7)\tCDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；
8)\tGDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；
9)\tZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10^-5Pa）。
5、膜厚检测系统：1套
1)\t膜厚仪：采用SQC310C石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜，探头：四通道；显示以及控制精度：0.01？/秒，频率分辨率0.01Hz，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率；
2)\t膜厚探头：美国MCVAC进口水冷膜厚探头4套，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用胶圈锁紧密封结构。
6、设备机架：1套
1)\t40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；
2)\t3英寸万向轮4件，移动调整；
3)\tM16地脚4件，锁紧定位。
7、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置）
1)\t烘烤照明电源：1台；
2)\t总控制电源1台，配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。
8、其他技术参数：
1)\t缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；
2)\t供电：～220V单相供电系统（峰值4KW）；
3)\t供水：制冷加热循环机，冷却温度-50℃～+250℃；
4)\t供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；
5)\t极限真空：优于5×10^-5Pa，大气至6×10^-4Pa时间小于30分，充干燥氮气。
主要配置：
真空室腔体：
1)真空室腔体\t1套；
2)真空室后门\t1套；
3)真空室前门\t1套；
蒸发源系统：
1)金属源\t1套；
2)金属源电源\t1套；
3)有机源\t9套；
4)有机源电源\t5套；
样品台系统：
1)样品台组件\t1套；
2)样品台测温机构\t1套；
3)样品台挡板\t1套；
真空泵机组：
1)双级泵\t1台
2)真空电磁充气阀\t1台；
3)真空泵连接管道\t1套；
4)高真空气动挡板阀\t1台；
5)水冷脂润滑分子泵\t1台；
6)气动超高真空插板阀\t1台；
7)超高真空气动挡板阀\t1台；
8)高真空气动挡板阀\t1台；
9)数显真空计\t1套；
膜厚监测系统：
1)石英晶振膜厚监控仪\t1套；
2)进口水冷膜厚探头\t4套；
设备机架：
1)机架主体\t1套；
2)制冷加热循环机\t1套；
3)小型无油静音气泵\t1套；
电控系统：
1)烘烤照明装置\t1套；
2)烘烤照明电源\t1台；
3)总控电源\t1套；
配件：
1)金属蒸发钨舟10件，钽舟10个；
2)石英坩埚16件；
3)烘烤照明灯管以及灯罩各2件；
4)前后门胶圈各1套；
5)晶振片2盒，每盒10片；
6)CF16无氧铜圈5件；
7)CF35无氧铜圈5件；
8)CF50无氧铜圈2件；
9)CF200无氧铜圈2件；
10)130*130mm方形托架4套，如承载20*20mm基片16片（含掩膜板，根据客户要求设计）。
11)观察窗内衬玻璃4个
12)内六角维修工具一套
技术服务
1. 设备安装调试：
******大学海宁国际校区1A楼二楼
（2）安装完成时间：接到用户通知后在5日内完成安装和调试，如在规定的时间内由于供方的原因不能完成安装和调试，需方按合同中的约定承担违约责任并承担由此给需方造成的损失。
（3）安装标准：符合我国国家有关技术规范要求和技术标准，所有的软件和硬件必须保证同时安装到位。
（4）设备为原厂全新未拆封正品，供方负责所有采购设备的配件及相关辅材、线缆等的制造、采购、集成、包装、运输、卸货、就位、保险、安装、培训、调试、验收、质保期保障。
（5）软件必须在货物到达现场后随设备一起调试。
（6）负责镀膜系统与手套箱系统的对接和调试。
2. 培训：
供方有义务对需方的设备使用人员免费进行现场培训，负责指导安装调试，使用人员能熟练掌握设备的各项功能和操作，并能对设备进行日常维护和一般性故障的查找及故障的排除；培训所需的一切费用均由供方承担。（安装调试期间至少提供1次现场培训，人数不限，不少于3天。
3. 售后服务：
仪器安装调试合格，方可签署验收报告，质保期从验收之日起算（需方提供的验收报告为准）。
质保期内，免费更换损坏的零部件及服务。保修期内，必须在2小时内，对需方的服务要求作出响应并给予解决方案，如无法排除故障，2个工作日内，到达需方现场处理，解决时间不应超过5个工作日。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，如因供方原因不能及时修复，保修期将相应顺延。如果不能当场解决的问题，将在得到需方许可后将仪器带回供方检修。若问题无法在国内解决，将在得到需方许可后负责送返仪器至原厂进行维修并承担所有相关费用，维修所需的时间不超过45个工作日。
质保期满后，负责仪器设备终身维修。供方依然提供免费软件升级服务和电话技术支持，优惠提供备件，备件应提供至少一年保修期，设备使用寿命期内，确保备件供应。质保期满后，接到故障报告后，须在4小时内，对需方的服务要求作出响应并给出初步解决方案，如无法排除故障，5个工作日内，到达需方现场处理，解决时间不应超过5个工作日。
4. 质保期：\t
验收合格后起保修1年。
5. 供货期：
合同签订后7日内。
（四）验收标准：
供方提供的货物质量标准按以下约定执行：
（1）仪器设备运抵安装现场后，需方将与供方共同开箱验收，如供方届时不派人参加，则验收结果应以需方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损, 需方有权要求供方负责更换，因此而产生的所有费用由供方承担。验收标准应不低于合同技术参数所要求的指标。任何虚假指标响应一经发现，供方必须承担由此给需方带来的一切经济损失和其它相关责任。验收由需方、供方及相关人员依国家有关标准、技术参数要求进行。验收结果应以需方提供的验收报告为最终验收结果。
（2）供方保证供应的仪器设备完全符合原生产厂商所规定的质量、规格、性能和技术指标，确保该产品为全新正品未使用过的仪器，否则，需方有权拒收或退货，由此产生的一切责任和后果由供方承担。质量功能标准应当符合需方提供的技术指标中所规定的质量标准。除非双方另行约定，供方提供的货物质量应符合同类同规格货物的国家质量标准及行业质量标准，上述质量标准区分等级的，则应符合最高级别的标准；如没有上述标准的，则应具备该类货物通常所应具备的使用功能和质量标准，且能正常运行和使用。
（3）供方保证所供应的商品是符合国家法律规定和技术规格、质量标准的出厂原装合格产品；进口商品是获得国家相关部门颁布安全质量许可证（如需）的出厂原装合格产品。如发生所供商品与合同（型号、指标、性能等）不符，需方有权拒收或退货，由此产生的一切责任和后果由供方承担。
（4）供方保证货物中的软件应当与技术要求中的描述或要求一致，软件质量、功能与附带的说明一致，且已通过供方（供方为原厂商时）或原厂商（若供方非原厂商）质量测试和检验，能正常运行或使用。
（5）供方应当向需方提供相应的软件使用许可，并按需方要求提供供方或软件的原厂商（若供方非软件的原厂商）正式签发的软件使用许可的授权证明文件。
（6）供方保证货物中的软件不包含任何明显的或主要的缺陷、错误，不包含任何恶意的、破坏性的或可能导致未经授权者侵入、操作、控制计算机或计算机数据的计算机病毒、木马程序、后门程序等程序设计或程序代码。

售后服务：电话支持:7x8小时;质保期:1年;服务时限:报修后4小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;